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价值4亿美元的机器为芯片制造的未来提供动力

technologyreview
2026年6月23日 00:00
2026年6月23日 00:00
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乔斯·本肖普(Jos Benschop)正在爬梯子,登上他最新机器的顶部。这有点糟糕。这个装置有一辆双层巴士那么大--超过150吨闪闪发光的精磨铝,上面覆盖着数千根蛇形管、彩色电缆和加压罐。从地面上看,它像一个未来的V8发动机。当我和本肖普到达山顶时,我们正从大约15英尺高的空中往下看,穿着兔子服的技术人员在下面匆忙地走来走去。这是一个超过200立方米的技术--“机电设备,可以把几面镜子固定在原子级精度的位置,”他指着这个巨大的设备说。66岁的Benschop身材高大,头发花白,他花了十多年的时间和他的工程师一起设计这个东西,但即使如此,他有时也会看着它,然后说:Benschop是ASML的技术执行副总裁,ASML是一家荷兰公司,是微芯片行业的关键。如果你想制造强大的芯片来为手机或人工智能供电,那么像我们站在上面的光刻机就是你需要的,以创建越来越小的电路。光刻是一门艺术和科学,它将光线照射在硅晶片上,以形成晶体管、布线和其他将从晶片上切割下来的微芯片组件。九年前,ASML开始销售使用一种大胆的新方法来形成芯片特征的机器。这些机器利用远超出可见光谱的极紫外光或UVA辐射,通过每秒向微小的熔化锡滴发射激光数万次,产生这种辐射。这些第一批机器是历时16年、耗资约100亿美元的研发登月计划的结果,可以制造出分辨率为13纳米的晶体管特征。这台新机器可以做得更好:它的分辨率仅为8纳米,宽度约为40个硅原子。这些设备现在以令人瞠目结舌的价格运往芯片制造工厂或晶圆厂:每台4亿美元。但芯片制造商将

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technologyreview · 2026年6月23日 00:00

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